真空軸受構造体及び可動部材を支持する方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：長谷川芳樹 , 山田行一 , 鈴木康仁
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-072451
公開番号（公開出願番号）：特開2001-343021
特許番号：特許第4456290号
出願日： 2001年03月14日
公開日（公表日）： 2001年12月14日
請求項（抜粋）：

【請求項1】真空軸受構造体であって、アパーチャを有する壁部を有する真空チャンバと、前記アパーチャの中を伸長するように構成された可動部材とを備え、前記真空チャンバと前記可動部材の一方には第1の軸受面が設けられ、他方には第2の軸受面が設けられ、前記第1の軸受面及び前記第2の軸受面は、前記可動部材に作用する外からの圧力の作用線を横断するように伸長して、前記第1の軸受面及び第2の軸受面を相互に押し付け、前記第1の軸受面及び前記第2の軸受面は、前記チャンバ壁に対する前記可動部材の所定の運動を可能にし、第1の軸受面には、前記第2の軸受面に面するガス透過性多孔性材料が設けられ、前記多孔性材料は、該材料の厚みにわたってガスを流通させる多孔性の第1の領域と、前記第1の領域と真空チャンバ内部の間の第2の内部領域とを有し、前記真空軸受構造体は更に、前記多孔性第1の領域を浸透して前記外圧の該作用に抵抗する前記第2の軸受面に軸受圧力を加える加圧下の軸受ガスを供給するための前記第1の領域の下の少なくとも1つのガス供給プレナムと、前記多孔性材料を貫通しかつ前記第1の領域とその内部の前記第2の領域間に位置する排気グルーブと、軸受ガスを前記軸受面の間から逃がすために前記排気グルーブに接続する排気プレナムとを有し、前記排気グルーブと前記真空チャンバ内部の間に、前記多孔性材料の前記第2の領域を貫通する少なくとも1つの連続差動ポンプグルーブを有し、前記多孔性材料の前記第2の領域が、前記第2の軸受面に面する前記第1の軸受面の前記差動ポンプグルーブランドの各側に設けられ、それぞれの差動ポンププレナムが真空ポンプに接続するために前記差動ポンプグルーブに接続され、基板本体と、前記第1の軸受面を形成するための前記本体上の前記多孔性材料の層とを有し、前記差動ポンププレナムが、前記差動ポンプグルーブの下に伸長しかつ前記差動ポンプグルーブの幅より大きい幅をもつ前記基板本体内に形成されるので、前記多孔性材料の前記層が、下にある該差動ポンププレナム上に少なくとも該差動ポンプグルーブの1つのエッジに沿ってカンチレバ取付けされ、前記基板本体が該差動ポンプグルーブの少なくとも1つのカンチレバ取付けエッジを支持するために前記差動ポンププレナムを横断している架橋要素を有する真空軸受構造体。

IPC (6件)：

F16C 32/06 ( 200 6.01) , C23C 14/48 ( 200 6.01) , C23C 14/50 ( 200 6.01) , F04B 37/16 ( 200 6.01) , H01J 37/18 ( 200 6.01) , H01J 37/317 ( 200 6.01)

FI (6件)：

F16C 32/06 B , C23C 14/48 Z , C23C 14/50 K , F04B 37/16 F , H01J 37/18 , H01J 37/317 B

引用特許：

出願人引用 (5件)

特表昭58-500134
特開平2-212624
静圧多孔質軸受
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-319153 出願人：日本精工株式会社

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審査官引用 (5件)

特表昭58-500134
特開平2-212624
静圧多孔質軸受
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-319153 出願人：日本精工株式会社

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