樹脂層形成装置、積層体の製造装置、及び樹脂層の製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：池内寛幸 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-101435
公開番号（公開出願番号）：特開2001-284165
特許番号：特許第3461782号
出願日： 2000年04月03日
公開日（公表日）： 2001年10月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】開口と、内部に加熱体とを備えた蒸発装置を有し、液状の樹脂材料を前記加熱体上で加熱し、気化させて得た樹脂材料蒸気を、前記開口から支持体に向けて放出して、真空又は減圧下で前記支持体上に樹脂層を形成する樹脂層形成装置であって、前記蒸発装置内の樹脂材料蒸気を前記蒸発装置外に排出する排気装置を更に有し、前記排気装置は、吸引装置と、前記蒸発装置と前記吸引装置との間に設置された除去装置とを備え、前記樹脂層の形成の終了時に、前記吸引装置は前記蒸発装置内の樹脂材料蒸気を前記蒸発装置から吸引し、前記除去装置は前記樹脂材料蒸気を冷却し液化させて除去することを特徴とする樹脂層形成装置。

IPC (3件)：