有機材料用蒸発源

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石島茂男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-342652
公開番号（公開出願番号）：特開平10-168560
出願日： 1996年12月06日
公開日（公表日）： 1998年06月23日
要約：

【要約】【課題】種々の有機蒸発材料、特に液体状の有機蒸発材料に対して一定温度で均一的に加熱でき、しかも取扱いの容易な有機材料用蒸発源を提供する。【解決手段】有機化合物モノマー2を収容する蒸発用容器3と、熱媒体槽45内の熱媒体40を所定の温度に制御する熱媒体源4を有する。蒸発用容器3は、有機化合物モノマー2を収容する収容部30と、収容部30の周囲を取り囲むように配設した熱媒体保持部31とから構成され、収容部30と熱媒体保持部31との間の空間によって熱媒体循環路32が形成される。熱媒体源4から熱媒体循環路32に熱媒体40を導入してこれを循環させ、収容部30内の有機化合物モノマー2を加熱又は冷却する。熱媒体保持部31の周囲に、蒸発用容器2内の温度より高い温度に有機化合物モノマー2を加熱するためのマイクロヒーター62を巻き付ける。

請求項（抜粋）：

液体状の有機蒸発材料を収容する蒸発用容器を備え、該蒸発用容器に収容された有機蒸発材料を蒸発させ、真空槽内において基体上に有機化合物の蒸着膜を形成するための有機材料用蒸発源であって、所定の温度に制御した熱媒体によって上記有機蒸発材料を加熱又は冷却するように構成したことを特徴とする有機材料用蒸発源。

IPC (2件)：

C23C 14/24 , C23C 14/12

FI (2件)：

C23C 14/24 B , C23C 14/12

引用特許：

出願人引用 (8件)

有機化合物用蒸発源
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-204583 出願人：日本真空技術株式会社
薄膜作成方法ならびにその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-187587 出願人：財団法人半導体研究振興会
特開平2-164401

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