インバータ式DC電源

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田宮寛祉
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-189057
公開番号（公開出願番号）：特開2000-083322
特許番号：特許第4034008号
出願日： 1999年07月02日
公開日（公表日）： 2000年03月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】インバータ式DC電源において、整流・平滑回路の出力を高周波電力に変換する並列に設けられた2系統の単相のインバータ回路と、前記2系統のインバータ回路の各々に対して前記高周波電力の電圧を高電圧化する高周波トランスと、 V型結線された、2つの前記高周波トランスの二次巻線と、 2つの前記高周波トランスの前記二次巻線に接続され、前記2系統のインバータ回路の前記高周波電力を全波整流して合成する整流回路と、前記2系統のインバータ回路のオン・オフ動作を制御して前記高周波電力を作成し、前記整流回路の出力で前記2系統の各々の前記高周波電力の位相が、π/3ずれるように制御する制御手段とを備え、 DCスパッタリング装置内に設けられたカソードとアノードからなる電極装置に給電を行うことを特徴とするインバータ式DC電源。

IPC (3件)：

H02J 1/00 ( 200 6.01) , H02M 3/28 ( 200 6.01) , C23C 14/36 ( 200 6.01)

FI (3件)：

H02J 1/00 309 Q , H02M 3/28 W , C23C 14/36

引用特許：

出願人引用 (4件)

電源装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-011619 出願人：株式会社東芝
特開昭61-109456
DC-DCコンバータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-071495 出願人：株式会社豊田自動織機製作所

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審査官引用 (4件)

電源装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-011619 出願人：株式会社東芝
特開昭61-109456
DC-DCコンバータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-071495 出願人：株式会社豊田自動織機製作所

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