マイクロレンズ一体型表面光レーザー

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-306821
公開番号（公開出願番号）：特開2002-141612
特許番号：特許第3623473号
出願日： 2001年10月02日
公開日（公表日）： 2002年05月17日
請求項（抜粋）：

【請求項1】半導体物質層の積層方向にレーザー光を出射する表面光レーザー部と、前記表面光レーザー部から出射される光を透過させる物質より形成されたマイクロレンズと、前記表面光レーザー部とマイクロレンズとの間に位置し、前記マイクロレンズと前記表面光レーザー部との間隔を可変させる可変部とを含み、前記可変部は圧電ポリマーよりなる圧電物質層を具備し、前記表面光レーザー部及び前記可変部は連続的な製造工程を通じてそれらの間にボンディング層なしで一体に形成されていることを特徴とするマイクロレンズ一体型表面光レーザー。

IPC (3件)：