特許
J-GLOBAL ID：201103080756104419
光偏向器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
村松 貞男
, 河野 哲
, 風間 鉄也
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-292165
公開番号（公開出願番号）：特開2002-214561
特許番号：特許第4674017号
出願日： 2001年09月25日
公開日（公表日）： 2002年07月31日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ミラー構造体と、
ミラー構造体を保持するための単一の板状のベースと、
ミラー構造体を駆動するための駆動手段とを備えており、
ミラー構造体は、ベースに固定される支持体と、支持体に対して動かされる可動板と、可動板と支持体を連結する一対の弾性部材とを備えており、可動板は一対の弾性部材を軸として支持体に対して揺動可能であり、ミラー構造体は互いに表裏の関係にある第一面と第二面を有し、可動板はその第二面に形成された鏡面を有し、支持体はその第二面がベースに固定されており、
ベースは、鏡面を露出させるための開口と、ミラー構造体の支持体が接着される一対の接着部と、磁気回路が取り付けられる一対の取り付け部とを有しており、接着部と取り付け部は、ミラー構造体が配置される側に突出しており、
駆動手段は、可動板の第一面に形成された導電性要素と、ミラー構造体が設けられた側と同じ側でベースに取り付けられた磁気回路を有しており、磁気回路は、一対の磁界発生部材と、磁性材料からなるヨークを備えており、ヨークは、枠状の外ヨークと、外ヨークの内部空間の中央を横切る内ヨークとを有しており、その結果、ヨークは一対の貫通穴を有しており、一対の磁界発生部材は、ヨークの一対の貫通穴に収容され、外ヨークに接して固定されており、磁界発生部材は、ヨークの貫通穴の貫通方向の寸法が、ヨークよりも大きく、
ミラー構造体は、支持体が接着部に接着された結果、ベースから離れて配置され、磁気回路のヨークが取り付け部に固定された結果、内ヨークが、可動板の第一面の近くに配置され、可動板の導電性要素が、ミラー構造体の第一面と第二面に平行な方向から見て、磁界発生部材の全体と重なるように配置されている、光偏向器。
IPC (3件)：
G02B 26/10 ( 200 6.01)
, B81B 3/00 ( 200 6.01)
, G02B 26/08 ( 200 6.01)
G02B 26/10 104 Z
, B81B 3/00
, G02B 26/08 E
