特許
J-GLOBAL ID：200903091235651212
プレーナ型光走査装置及びその実装構造
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
笹島 富二雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-051805
公開番号（公開出願番号）：特開2000-249964
出願日： 1999年02月26日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：
【要約】【課題】半導体製造技術を利用したプレーナ型光走査装置のより一層の小型化、低価格化を図ることを目的とする。【解決手段】シリコン基板11に、トーションバー13A,13Bで軸支された可動板12の表面側にミラー14を設け、可動部12の裏面側に駆動コイル15を設けることにより、可動板12の面積を縮小した。
請求項（抜粋）：
半導体基板に、可動部と、該可動部を揺動可能に軸支する軸支部とを一体に形成し、前記可動部の表面側にミラーを設け、前記可動部の裏面側に駆動コイルを設け、該駆動コイルに静磁界を与える磁界発生手段を設け、前記駆動コイルに電流を流すことにより発生する磁気力により前記可動部を駆動する構成としたことを特徴とするプレーナ型光走査装置。
Fターム (2件)：
引用特許：
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