化学蒸着装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：岩田今日文 , 瀬戸さより
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-108425
公開番号（公開出願番号）：特開2000-299314
特許番号：特許第4223132号
出願日： 1999年04月15日
公開日（公表日）： 2000年10月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】内部で基板に対して所定の処理がなされる処理容器と、処理容器内を所定の圧力に排気する排気系と、処理容器内に所定の原料ガスを供給するガス供給系と、供給された原料ガスが表面を通過するように処理容器内に設けられた発熱体と、発熱体が所定の高温に維持されるよう発熱体にエネルギーを与えるエネルギー供給機構と、所定の高温に維持された発熱体の表面に供給されることで分解及び又は活性化した原料ガスが到達して所定の薄膜が作成される処理容器内の所定の位置に基板を保持する基板ホルダーとを備えた化学蒸着装置であって、前記発熱体は、基板の中心軸に対して対称であるとともに基板に対して非平行になっており、前記発熱体の各部位は、前記基板の中心軸に対して対称であるとともに前記基板の中心軸と軸を同じにする仮想の錐面の上に位置し、前記発熱体の各部位が位置する仮想の錐面は、基板に向かって徐々に断面積が小さくなる円錐面又は正多角錐面であることを特徴とする化学蒸着装置。

IPC (2件)：

H01L 21/31 ( 200 6.01) , C23C 16/46 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01L 21/31 B , C23C 16/46

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開昭63-224216
特開平3-103396
触媒化学蒸着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-221008 出願人：アネルバ株式会社

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審査官引用 (6件)

特開昭63-224216
特開平3-103396
触媒化学蒸着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-221008 出願人：アネルバ株式会社

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