特許
J-GLOBAL ID：201103081597085340
像検出装置
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-042714
公開番号（公開出願番号）：特開平11-316191
特許番号：特許第3385994号
出願日： 1999年02月22日
公開日（公表日）： 1999年11月16日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 被検物体に対して光を照射する光照射系と、該光照射系により照射された被検物体からの光を集光して前記被検物体の像を形成する検出光学系と、該検出光学系により形成される前記被検物体の像を光電検出する光電検出器と、該光電検出器からの出力に基づいて画像処理する処理系とを有する像検出装置において、前記検出光学系は、該検出光学系の基準光軸と交差する光軸を有する集光鏡を含み、前記処理系は、前記基準光軸に対する前記被検物体上の被検面の傾き情報と前記光電検出器の出力情報とに基づいて前記画像処理を行ない、前記集光鏡によって生ずる前記被検物体の画像歪みの影響を除去した画像補正信号を出力する画像歪み補正部と、前記画像歪み補正部からの前記画像補正信号を入力し、前記被検物体の欠陥の特徴を抽出する画像処理を行う画像処理部とを備えたことを特徴とする像検出装置。
IPC (3件)：
FI (3件)：
引用特許：
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