圧力スイング吸着式ガス発生装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：池内寛幸 , 佐藤公博 , 鎌田耕一 , 乕丘圭司 , 辻丸光一郎 , 黒田茂
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-040420
公開番号（公開出願番号）：特開2002-239330
特許番号：特許第3614786号
出願日： 2001年02月16日
公開日（公表日）： 2002年08月27日
請求項（抜粋）：

【請求項1】吸着剤を充填した第1吸着槽および第2吸着槽と、前記第1および第2吸着槽で分離された製品ガスを貯蔵する製品槽と、原料空気を前記第1吸着槽および第2吸着槽へ導入する流路を各々開閉する第1および第2吸着バルブと、前記第1および第2吸着槽からの排気用流路を各々開閉する第1および第2排気バルブと、前記第1および第2吸着槽の間を連通させる均圧用流路を開閉する均圧バルブと、前記第1および第2吸着槽の間を流量調節弁を介して連通させた還流用流路と、前記第1および第2吸着槽と前記製品槽との間の流路を各々開閉する第1および第2出口バルブと、前記各バルブの開閉を制御するバルブ駆動信号を供給する制御装置と、前記原料空気、前記第1、第2吸着槽内、および前記製品槽内の圧力をそれぞれ検出して、その圧力値を前記制御装置に入力する圧力検出器とを備え、圧縮された原料空気を供給して高圧下で前記吸着剤による吸着を行う吸着動作と、圧力を低下させて前記吸着剤に吸着したガスを脱着させる脱着動作を、前記各バルブを切り替えることにより、前記第1および第2吸着槽において交互に行って、窒素または酸素ガスを取り出す運転を連続的に行うように構成された圧力スイング吸着式ガス発生装置において、前記製品ガスの純度を検出する製品ガス純度検出器を更に備え、前記制御装置は、前記各圧力値と前記各バルブ駆動信号を用いて、前記第1吸着槽において吸着動作を行い前記第2吸着槽において脱着動作を行う工程をA工程、前記第2吸着槽において吸着動作を行い前記第1吸着槽において脱着動作を行う工程をB工程、前記均圧バルブを開放して前記両吸着槽の圧力を均等にする工程を均圧工程とし、原料空気圧力をP0、第1吸着槽圧力をP1、第2吸着槽圧力をP2、製品槽圧力をP3とするとき、前記A工程が終了して前記均圧工程に切り替わる時点で、圧力差P0-P1、圧力P2、及び圧力差P0-P3について、各々所定の基準値との関係を検出し、前記均圧工程が終了して前記A工程または前記B工程に切り替わる時点で、圧力差P1-P2、圧力P1、及びP2について、各々所定の基準値との関係を検出し、前記B工程が終了して前記均圧工程に切り替わる時点で、圧力差P0-P2、圧力P1、及び圧力差P0-P3について、各々所定の基準値との関係を検出し、前記製品ガス純度検出器の検出値がその基準値に対して異常を示したとき、前記各検出結果の組合わせに基づいて、前記異常の原因を検出するように構成された圧力スイング吸着式ガス発生装置。

IPC (1件)：

B01D 53/04

FI (1件)：

B01D 53/04 B

引用特許：

審査官引用 (2件)

気体分離装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-032239 出願人：トキコ株式会社
特開昭58-146419

前のページに戻る