特許
J-GLOBAL ID:201103081906347168
アルカリ現像可能な感光性樹脂組成物及びそれを用いた感光性フィルム
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-159876
公開番号(公開出願番号):特開2011-013622
出願日: 2009年07月06日
公開日(公表日): 2011年01月20日
要約:
【課題】 弱アルカリ水溶液で現像可能で、解像性と高温耐リフロー性に優れるプリント配線板の保護膜用感光性樹脂組成物とそれを用いた感光性フィルムを提供する。【解決手段】 (a)カルボキシル基及びエチレン性不飽和基を分子内に少なくとも1つ以上有する樹脂、(b)エチレン性不飽和基を有する光重合性モノマー、(c)光重合開始剤、(d)エポキシ化合物、(e)シリカフィラーを含有する感光性樹脂組成物であって、(e)シリカフィラーの平均粒径が3〜300nmで、感光性樹脂組成物中に最大粒径が1μm以下で分散されているアルカリ現像可能な感光性樹脂組成物。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
(a)カルボキシル基及びエチレン性不飽和基を分子内に少なくとも1つ以上有する樹脂、(b)エチレン性不飽和基を有する光重合性モノマー、(c)光重合開始剤、(d)エポキシ化合物、(e)シリカフィラーを含有する感光性樹脂組成物であって、(e)シリカフィラーの平均粒径が3〜300nmで、感光性樹脂組成物中に最大粒径が1μm以下で分散されているアルカリ現像可能な感光性樹脂組成物。
IPC (4件):
G03F 7/004
, G03F 7/027
, G03F 7/031
, C08F 290/00
FI (8件):
G03F7/004 501
, G03F7/027 515
, G03F7/027 513
, G03F7/031
, G03F7/027 502
, G03F7/004 512
, C08F290/00
, G03F7/004 505
Fターム (97件):
2H125AC32
, 2H125AC34
, 2H125AC36
, 2H125AC54
, 2H125AC57
, 2H125AC63
, 2H125AD02
, 2H125AD06
, 2H125AD07
, 2H125AE12P
, 2H125AE15P
, 2H125AM23P
, 2H125AM32P
, 2H125AN47P
, 2H125AN94P
, 2H125AP11P
, 2H125BA05P
, 2H125BA06P
, 2H125BA16P
, 2H125BA20P
, 2H125BA22P
, 2H125CA13
, 2H125CB05
, 2H125CC01
, 2H125CC13
, 2H125CD29P
, 2H125CD40
, 4J127AA03
, 4J127BB031
, 4J127BB041
, 4J127BB042
, 4J127BB082
, 4J127BB111
, 4J127BB131
, 4J127BB132
, 4J127BB221
, 4J127BB222
, 4J127BB281
, 4J127BB301
, 4J127BC031
, 4J127BC032
, 4J127BD181
, 4J127BD191
, 4J127BD201
, 4J127BD442
, 4J127BD452
, 4J127BE34Y
, 4J127BE341
, 4J127BE342
, 4J127BE41Z
, 4J127BE411
, 4J127BF30Y
, 4J127BF301
, 4J127BF302
, 4J127BF31Y
, 4J127BF311
, 4J127BF46Z
, 4J127BF462
, 4J127BF62Z
, 4J127BF622
, 4J127BF63Z
, 4J127BF632
, 4J127BG04Z
, 4J127BG042
, 4J127BG05Y
, 4J127BG05Z
, 4J127BG051
, 4J127BG052
, 4J127BG10Y
, 4J127BG101
, 4J127BG12Y
, 4J127BG121
, 4J127BG122
, 4J127BG16Z
, 4J127BG161
, 4J127BG162
, 4J127BG17Y
, 4J127BG171
, 4J127BG172
, 4J127BG28Z
, 4J127BG282
, 4J127CB281
, 4J127CB282
, 4J127CB373
, 4J127CC022
, 4J127CC031
, 4J127CC113
, 4J127CC131
, 4J127DA12
, 4J127DA52
, 4J127DA59
, 4J127EA13
, 4J127FA18
, 4J127FA38
, 5E314AA32
, 5E314BB06
, 5E314CC15
引用特許:
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