特許
J-GLOBAL ID：201103081960363268
高周波半導体集積回路装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
眞鍋 潔
, 柏谷 昭司
, 渡邊 弘一
, 伊藤 壽郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-196922
公開番号（公開出願番号）：特開2001-024099
特許番号：特許第4035804号
出願日： 1999年07月12日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 高周波半導体集積回路基板の表面の上方に、複数の導電性ピラーの内の一部の同一の高さの複数の第1の導電性ピラーにより支持され、且つ、前記高周波半導体集積回路基板に対向する回路基板の対向面とは異なった水準に位置するグランド面を設けたことを特徴とする高周波半導体集積回路装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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