特許

J-GLOBAL ID：201103082098401431

両面研摩装置

発明者： 堀口 明 ,  磯部 健 ,  田中 丙午
出願人/特許権者： 株式会社住友金属ファインテック ,  株式会社SUMCO
代理人 (2件)： 柳舘 隆彦 ,  吉田 正二
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-135631
公開番号（公開出願番号）：特開2000-326222
特許番号：特許第4235313号
出願日： 1999年05月17日
公開日（公表日）： 2000年11月28日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 研摩すべきワークを保持する複数のキャリアを、上下の回転定盤間で少なくとも自転させることにより、複数のキャリアに保持された複数のワークを同時に両面研摩する研摩装置本体と、研摩装置本体の外側でワークをキャリアに合体させる合体機構と、研摩装置本体の外側でキャリアと合体されたワークを合体状態のまま下定盤上に供給する供給機構とを具備し、 前記合体機構は、複数枚のキャリアを所定間隔で上下方向に重ねて支持するキャリア収納部と、キャリア収納部からキャリア位置合わせ部へキャリアを1枚ずつ搬送するキャリア搬送部と、キャリア位置合わせ部で位置合わせされたキャリアにワークを合体状態に組み合わせるべくワークをキャリア位置合わせ部に搬送するワーク第1搬送部とを有し、 前記供給機構は、旋回・昇降アームの先端部に吸着ヘッドを有しその吸着ヘッドによりキャリア及びこれに合体したワークを吸着して前記合体機構から下定盤上へ搬送する旋回・昇降式のワーク第2搬送部を有し、 前記キャリア搬送部は、キャリア収納部の下降によりキャリア収納部からキャリアを一端部上に移載され、他端部がキャリアとワークの合体部を兼ねるキャリア位置合わせ部とされたテーブルと、テーブル上に一端部で移載されたキャリアをキャリア位置合わせ部へ搬送する搬送機構とを有し、 前記キャリア位置合わせ部は、位置決めピンを上面に有する昇降板と、昇降板の上方に設けられて昇降板と共に昇降駆動されるワーク受け台とを有し、昇降板が上昇した状態で位置決めピンは前記テーブルを貫通してテーブル上に突出してテーブル上のキャリアを位置決めすると共に、ワーク受け台はキャリアのワーク収容孔を通ってキャリア上に位置した状態でワークを載置され、この状態から昇降板が初期位置へ下降することにより、ワーク受け台上のワークが、テーブル上で位置決めされたキャリアのワーク収容孔に挿入されて両者を合体状態に組み合わせることを特徴とする両面研摩装置。

IPC (1件)：

B24B 37/04 ( 200 6.01)

FI (2件)：

B24B 37/04 Z ,  B24B 37/04 E

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開昭63-093563
  
• ウエーハ自動ラッピング装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-353129   出願人：信越半導体株式会社

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-093563
  
• ウエーハ自動ラッピング装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-353129   出願人：信越半導体株式会社