導電膜付きガラス板とその製造方法、およびこれを用いた光電変換装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：鎌田耕一 , 池内寛幸 , 佐藤公博 , 乕丘圭司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-080956
公開番号（公開出願番号）：特開2001-035262
特許番号：特許第4467707号
出願日： 2000年03月22日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】水蒸気およびフッ素原料を含み、酸素濃度を10体積%以上とした雰囲気における、ジメチル錫ジクロライドまたはモノブチル錫トリクロライドの熱分解酸化反応を伴うCVD法により、酸化錫を主成分とし、400nm以上1100nm以下の波長域において吸収係数が1.2×103cm-1以下であり、膜中のフッ素濃度が0.03重量%以上0.1重量%以下であり、膜中の錫原子に対する炭素原子の比率が0.015以下であり、膜中の塩素濃度が0.15重量%以下である導電膜を、ガラス板製造工程における590°C以上のガラスリボン上に形成することを特徴とする導電膜付きガラス板の製造方法。

IPC (6件)：

H01B 5/14 ( 200 6.01) , B32B 17/06 ( 200 6.01) , C03C 17/23 ( 200 6.01) , C03C 17/34 ( 200 6.01) , H01B 13/00 ( 200 6.01) , H01L 31/04 ( 200 6.01)

FI (7件)：

H01B 5/14 A , B32B 17/06 , C03C 17/23 , C03C 17/34 Z , H01B 13/00 503 B , H01L 31/04 H , H01L 31/04 M

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭63-314709
特開昭63-314713
特開平2-181473

全件表示

前のページに戻る