特許
J-GLOBAL ID：201103083066372240
加工プロセス終了点実時間判定方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
稲垣 清
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-315808
公開番号（公開出願番号）：特開2000-276221
特許番号：特許第3116949号
出願日： 1999年11月05日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 加工プロセス計測装置から得られる加工プロセスの進行状態を示す加工プロセス計測信号を所定周期の整数倍間隔で平均化し、平均化データとして所定周期の整数倍間隔毎に離散的に平均値を算出する第1のステップと、予め設定してある所定時間と現在までの加工プロセス経過時間とを比較し、現在までの加工プロセス経過時間が予め設定してある所定時間を越えるまでは次のステップに移行しない第2のステップと、第1のステップで算出された加工プロセス計測信号の平均化データが、所定値又は所定倍数に達するまで次のステップに移行しない第3のステップと、第1のステップで算出された加工プロセス計測信号の平均化データにおける、現測定時点の値を含んで所定数過去に遡った複数のデータの平均的傾きを算出する第4のステップと、第4のステップで算出された加工プロセス計測信号の平均化データの平均的傾きの絶対値が予め設定された第1のしきい値以上の値をとってから、現測定時点の平均的傾きと少し過去に遡った平均的傾きとを結ぶ近似直線式あるいは近似曲線式を求め、この近似直線式あるいは近似曲線式において平均的傾き=0となる時間を、加工プロセスが終了するまでの時間の予測値として算出する第5のステップと、第5のステップで算出した加工プロセス終了までの予測値から過去のデータを使うことによる時間遅れ分を引いて、その時刻が現測定時点以前であれば加工プロセス終了であると仮に判定する第6のステップと、第1のステップで算出された加工プロセス計測信号の平均化データにおける現測定時点の値と直近の過去のデータのみから、加工プロセス計測信号の平均化データの短時間の傾きを算出し、該短時間の傾きが、予め設定された第2のしきい値以下の値に連続して所定回数以上達すること、該短時間の傾きが、平均的傾きが最大値をとってからの通算で所定回数以上第2のしきい値以下の値になること、又は、該短時間の傾きが第2のしきい値以下になる割合が所定割合を超えることと、加工プロセス終了までの予測値から過去のデータを使うことによる時間遅れ分を引いた時刻が現測定時点以前であることとの論理積により、加工プロセスが終了したと判定する第7のステップと、を含むことを特徴とする加工プロセス終了点実時間判定方法。
IPC (4件)：
G05B 23/02 302
, B24B 49/04
, H01L 21/304 622
, H01L 21/3065
G05B 23/02 302 V
, G05B 23/02 X
, B24B 49/04 Z
, H01L 21/304 622 S
, H01L 21/302 E
