光モジュール用シリコンプラットフォーム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：五十嵐清
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-209163
公開番号（公開出願番号）：特開2001-036182
特許番号：特許第3434473号
出願日： 1999年07月23日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】シリコン基板上に受発光素子を搭載する光モジュール用シリコンプラットフォームであって、前記シリコン基板上に誘電体膜が形成され、前記誘電体膜上に前記受発光素子の引き出し配線部が設けられ、前記引き出し配線部のボンディングパッド部はシリコン基板上の誘電体膜が除去された状態で形成されていることを特徴とする光モジュール用シリコンプラットフォーム。

IPC (2件)：