塗布装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-097791
公開番号（公開出願番号）：特開2000-288453
特許番号：特許第4374647号
出願日： 1999年04月05日
公開日（公表日）： 2000年10月17日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ダイ内部に、第1マニホールドおよび第1マニホールドから吐出口に至る扁平で幅広なスリットを形成し、前記スリット中に第2マニホールドを形成して成るダイを左右のサイドプレートの間に配置した塗布装置において、塗布液の乾燥による硬化物の付着を防止するための溶剤を供給する溶剤供給管を一方のサイドプレートに設けられた溶液供給口を通じて第2マニホールドに導通するよう設置したことを特徴とする塗布装置。

IPC (2件)：