特許

J-GLOBAL ID：201103084585074988

プラズマ発生用高周波電源装置の保護方法及び電源装置

発明者： 内 俊裕 ,  西森 康博 ,  小野 達己
出願人/特許権者： 株式会社ダイヘン
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-205262
公開番号（公開出願番号）：特開2001-035699
特許番号：特許第4414021号
出願日： 1999年07月19日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】進行波電力設定信号から進行波電力検出信号を減算した進行波電力誤差信号によって進行波電力を進行波電力設定信号の示す大きさに維持する手段を備えたプラズマ発生用高周波電源装置に対する保護方法において、 DC電圧及びDC電流及び進行波電力及び反射波電力及び共振電流を検出し、 DC電圧検出信号がDC電圧保護レベルを超過したとき負の信号であるDC電圧減算信号を演算し、共振電流検出信号が共振電流保護レベルを超過したとき負の信号である共振電流減算信号を演算し、 DC電圧検出信号とDC電流検出信号と進行波電力検出信号と反射波電力検出信号とからパワーアンプ損失電力を演算し、前記パワーアンプ損失電力が損失電力保護レベルを超過したときに負の信号である損失電力減算信号を演算し、 前記損失電力減算信号又は前記DC電圧減算信号又は前記共振電流減算信号を外部設定信号に加算して前記進行波電力設定信号を抑制するプラズマ発生用高周波電源装置の保護方法。

IPC (2件)：

H05H 1/46 ( 200 6.01) ,  H01L 21/3065 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H05H 1/46 R ,  H01L 21/302 101 G

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 高周波電源
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-052763   出願人：日本電子株式会社

審査官引用 (1件)

• 高周波電源
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-052763   出願人：日本電子株式会社