特許

J-GLOBAL ID：201103084667698106

位置計測装置

発明者： 岩田 耕一
出願人/特許権者： 独立行政法人科学技術振興機構
代理人 (1件)： 三枝 英二
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-323543
公開番号（公開出願番号）：特開2001-141413
特許番号：特許第3806769号
出願日： 1999年11月15日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】被測定物に対して異なる方向からコヒーレントな平行光の照射を行なう少なくとも2個の光源部と、各光源部からの光線の光路中に置かれた被測定物に対し固定した位置に設定された複数の逆反射体と、該逆反射体により反射された光線と干渉する参照光を生成する参照光生成部と、前記逆反射体により反射された光線と前記参照光とが干渉するように受光する干渉計測部とを備えており、 前記各光源部からの光線の幅及び前記逆反射体の配置は、被測定物の測定すべき移動範囲において、前記複数の逆反射体中の少なくともいずれか2個の逆反射体での反射光が前記参照光と干渉するように決められていることを特徴とする位置計測装置。

IPC (2件)：

G01B 11/00 ( 200 6.01) ,  G01B 9/02 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G01B 11/00 G ,  G01B 9/02

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開昭63-066405
  
• 特開昭61-073003
  
• 特開平4-213006