質量分析器

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木正次
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-192605
公開番号（公開出願番号）：特開2001-023564
特許番号：特許第4221524号
出願日： 1999年07月07日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】一対の磁石によって形成した磁界と前記一対の磁石の間に位置する一対の電極への印加電圧及び前記一対の磁石の対向する側に配置された105〜109Ωのシート抵抗を有する一対の導体膜への電圧印加によって形成した電界と、によって形成された電磁界空間に、イオン化されたスパッタリングプロセス中の被測定分子イオンを通過させ、前記被測定分子イオンの質量を分析することを特徴とする質量分析器。

IPC (1件)：