特許
J-GLOBAL ID：201103085217199661
太陽電池吸収体を形成するための前駆体膜のリール・ツー・リール反応
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (9件)：
蔵田 昌俊
, 河野 哲
, 中村 誠
, 福原 淑弘
, 峰 隆司
, 白根 俊郎
, 村松 貞男
, 野河 信久
, 砂川 克
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-545934
公開番号（公開出願番号）：特表2011-511477
出願日： 2009年01月29日
公開日（公表日）： 2011年04月07日
要約：
太陽電池吸収体を形成するためフレキシブルなホイル基板上に配置された前駆体材料を反応させるために使用されるロール・ツー・ロールの迅速な熱処理ツールである。このRTPツールはフレキシブルなホイル基板が動かされる非常に低い縦横比の処理ギャップを含んでいる。RTPツールの低温ゾーンは処理ギャップの第1の部分を形成し、RTPツールの高温ゾーンは処理ギャップの第2の部分を形成し、バッファゾーンはギャップの第1の部分を第2の部分に接続する処理ギャップの第3の部分を形成する。フレキシブルなホイルの1セクションの温度は、連続的なワークピースのセクションがバッファゾーンを通過して移動するとき低温ゾーンの温度から高温ゾーンの温度へ増加される。バッファゾーンは空洞を有する少なくとも1つの低い熱伝導セクションを含んでいる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
連続的なワークピース上に配置された前駆体材料を反応させるために使用する装置において、
前記連続的なワークピースは太陽電池吸収体を形成するために前記装置を通ってその各部分が連続的に供給され、
前記装置は、
前記連続的なワークピースが移動する連続的で漏洩のない処理ギャップを含んでいる迅速な熱処理ツールを具備し、
前記処理ギャップは上部壁と下部壁とを具備し、1/50乃至1/1000の縦横比を有しており、それらの上部壁と下部壁は2つの異なる温度の処理ゾーンとそれら2つの処理ゾーンの間に配置され、それら2つの処理ゾーンを連結している第1のバッファゾーンとに区画されており、
前記第1のバッファは前記上部壁と前記下部壁の少なくとも一方中に形成されている複数の空洞を含んでおり、それらの空洞は第1のバッファゾーンの両側の前記2つの異なる温度の処理ゾーン間の熱伝導を減少させて、漏洩のない処理ギャップを維持しながら2つの処理ゾーン間の熱伝導を防止する低熱伝導度の領域を形成している装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (3件)：
5F151AA10
, 5F151CB29
, 5F151CB30
