高パワー動作のためのホイールカバーを有するガス放電光源のための回転ホイール電極

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：津軽進 , 笛田秀仙
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-523611
公開番号（公開出願番号）：特表2010-541123
出願日： 2008年08月14日
公開日（公表日）： 2010年12月24日
要約：

本発明は、ガス放電光源のための電極素子1、2及び電極素子1、2の一方又は双方を持つガス放電光源に関する。電極素子1、2は、回転軸22のまわりに回転方向に回転可能な電極ホイール7であって、2つの側面25の間に外周面24を持つ電極ホイール7を有する。電極ホイール7の外周面24及び側面25の一部をカバーする電極ホイールカバー8が備えられる。カバー8は、カバー8と、外周面24及び側面25の径方向外側部分との間に、円周方向に冷却チャネル12を形成するように構成され、更に、カバー8と前記円周方向に冷却チャネル12を延長した位置における外周面24との間にギャップ23を形成するように構成される。ギャップ23は、冷却チャネル12よりも小さな流れ断面を持ち、電極ホイール7の回転の間に、外周面24に形成される液体物質の膜の厚さを制限する。ギャップ23の代わりに、カバー8は、冷却チャネル12を通って流れる該液体物質からの斯かる膜の形成を抑制するように構成されても良い。冷却チャネル12は同時に、冷却チャネル12を通って循環する該液体物質により、電極ホイール7の冷却を可能とする。カバー8の提案される設計により、電極ホイール7の効率的な冷却が実現され、斯かる電極素子を持つガス放電光源を動作させるための高い電力を可能とする。

請求項（抜粋）：

ガス放電光源のための電極素子であって、前記電極素子は少なくとも、回転軸のまわりに回転方向に回転可能な電極ホイールであって、2つの側面の間に外周面を持つ電極ホイールと、前記外周面及び前記側面の一部をカバーする電極ホイールカバーと、を有し、前記カバーは、前記カバーと、前記外周面及び前記側面の径方向外側部分との間に、円周方向に冷却チャネルを形成するように構成され、前記冷却チャネルは、前記冷却チャネルを通る液体物質の流れを実現して、前記液体物質により前記電極ホイールを冷却するための、前記カバーにおいて入口及び出口開口を有し、前記カバーは更に、前記カバーと、前記円周方向に前記冷却チャネルを延長した位置における前記外周面との間にギャップを形成するように構成され、前記ギャップが、前記冷却チャネルよりも小さな流れ断面を持ち、前記電極ホイールの回転の間に、前記外周面に形成される前記液体物質の膜の厚さを制限するように構成されるか、又は前記冷却チャネルを通って流れる前記液体物質からの、前記円周方向に前記冷却チャネルを延長した位置における斯かる膜の形成を抑制するように構成された、電極素子。

IPC (3件)：

H05G 2/00 , H01L 21/027 , G21K 5/08

FI (4件)：

H05G1/00 K , H01L21/30 531S , G21K5/08 X , G21K5/08 C

Fターム (8件)：

4C092AA06 , 4C092AB21 , 4C092AC09 , 4C092BD09 , 4C092BD17 , 4C092BD18 , 4C092BD19 , 5F046GC03

引用特許：

審査官引用 (1件)

極紫外放射又は軟X線放射を生成する方法及び装置
公報種別：公表公報出願番号：特願2006-525971 出願人：コニンクリユケフィリップスエレクトロニクスエヌ.ブイ., フラウンホーファー-ゲゼルシャフトツアフェルデルングデアアンゲヴァンテンフォルシュングエーファオ

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