特許

J-GLOBAL ID：200903024109168531

極紫外放射又は軟X線放射を生成する方法及び装置

発明者： ヨンケルス,イェルーン ,  ファオドレファンゲ,ドミニク マルセル ,  ネフ,ヴィッリ
出願人/特許権者： コニンクリユケ フィリップス エレクトロニクス エヌ.ブイ. ,  フラウンホーファー-ゲゼルシャフト ツア フェルデルング デア アンゲヴァンテン フォルシュング エーファオ
代理人 (4件)： 伊東 忠彦 ,  大貫 進介 ,  伊東 忠重 ,  永坂 均
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-525971
公開番号（公開出願番号）：特表2007-505460
出願日： 2004年09月01日
公開日（公表日）： 2007年03月08日
要約：

具体的には、極紫外放射リソグラフィ(EUV)又は測定学のために、電動式放電を用いて極紫外放射又は軟X線放射を生成する方法であって、生成されるべき放射線を放射するプラズマ(22)を放電空間(12)中の少なくとも2つの電極(14,16)間のガス状媒体内に点火するステップを含む。ガス状媒体は、金属溶融物(24)から生成され、金属溶融物は、放電空間(12)内の表面に塗布され、且つ、エネルギービーム、具体的には、レーザビーム(20)によって、少なくとも部分的に蒸発させられる。

請求項（抜粋）：

生成されるべき放射線を放射するプラズマを、放電空間中の少なくとも2つの電極間のガス状媒体内で点火するステップを含む、具体的には、極紫外放射リソグラフィ又は測定学のために、電動式放電を用いて極紫外放射又は軟X線放射を生成する方法であって、 前記ガス状媒体は、金属溶融物から生成され、該金属溶融物は、前記放電空間内の表面に塗布され、エネルギービーム、具体的には、レーザビームによって、少なくとも部分的に蒸発させられる、 方法。

IPC (4件)：

H05G 2/00 ,  H01L 21/027 ,  G21K 1/00 ,  G21K 5/08

FI (4件)：

H05G1/00 K ,  H01L21/30 531S ,  G21K1/00 X ,  G21K5/08 X

Fターム (6件)：

4C092AA06 ,  4C092AA07 ,  4C092AA14 ,  4C092AC08 ,  4C092AC09 ,  5F046GC03

引用特許：

審査官引用 (4件)

• レーザープラズマX線源
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-191677   出願人：株式会社島津製作所, 学校法人東海大学
• レーザプラズマX線源
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-229605   出願人：株式会社島津製作所
• 特開平4-110800
  
• 特開昭64-006349