特許

J-GLOBAL ID：201103085309873423

プロセスコントロールシステムのプロセス品質を予測する方法および装置

発明者： テレンス リン ブレビンズ ,  ウィルヘルム ケー.ウォイズニス ,  マーク ニクソン ,  ポール リチャード マストン ,  クリストファー ウォレク ,  ランドルフ レイス
出願人/特許権者： フィッシャー-ローズマウント システムズ, インコーポレイテッド
代理人 (3件)： 中島 淳 ,  加藤 和詳 ,  西元 勝一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-125850
公開番号（公開出願番号）：特開2010-287227
出願日： 2010年06月01日
公開日（公表日）： 2010年12月24日
要約：

【課題】プロセスコントロールシステムのプロセス品質を予測する例示的な方法および装置を提供する。【解決手段】開示される例示的な方法は、第1の測定変数に関連する第1の値および第2の測定変数に関連する第2の値を含むプロセスに関するプロセスコントロール情報を第1の時間に受信すること、プロセスに関連する受信されたプロセスコントロール情報に基づく変動が閾値を越えるかどうかを判定すること、変動が閾値を越える場合、変動に対する第1の測定変数の寄与に基づいて第1の寄与値、および変動に対する第2の測定変数の寄与に基づいて第2の寄与値を計算すること、第1の寄与値、第2の寄与値、第1の値、または第2の値に基づいて少なくとも1つの補正アクションを確定すること、および、第1の時間後のある時間に少なくとも1つの補正アクションに基づいて予測プロセス品質を計算することを含む。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

プロセスコントロールシステムのプロセス品質を予測する方法であって、 第1の測定変数に関連する第1の値および第2の測定変数に関連する第2の値を含むプロセスに関するプロセスコントロール情報を第1の時間に受信し、 前記プロセスに関連する前記受信されたプロセスコントロール情報に基づく変動が閾値を越えるかどうかを判定し、 前記変動が前記閾値を越える場合、前記変動に対する前記第1の変数の寄与に基づいて第1の寄与値、および前記変動に対する前記第2の測定変数の寄与に基づいて第2の寄与値を計算し、 前記第1の寄与値、前記第2の寄与値、前記第1の値、または前記第2の値に基づいて少なくとも1つの補正アクションを確定し、 前記第1の時間後のある時間に前記少なくとも1つの補正アクションに基づいて予測プロセス品質を計算する、 ことを含む方法。

IPC (2件)：

G05B 23/02 ,  G05B 19/418

FI (2件)：

G05B23/02 R ,  G05B19/418 Z

Fターム (9件)：

3C100AA38 ,  3C100AA56 ,  3C100BB15 ,  3C100BB27 ,  5H223AA01 ,  5H223DD03 ,  5H223DD07 ,  5H223EE28 ,  5H223FF08

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 品質影響要因解析方法、品質予測方法、品質制御方法、品質影響要因解析装置、品質予測装置、品質制御装置、品質影響要因解析システム、品質予測システム、品質制御システム、及びコンピュータプログラム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-053572   出願人：住友金属工業株式会社
• 品質予測装置、品質予測方法及び製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-239350   出願人：JFEスチール株式会社
• 品質不良の原因解析方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-311140   出願人：新日本製鐵株式会社
• 異常要因特定方法およびシステム、上記異常要因特定方法をコンピュータに実行させるためのプログラム、並びに上記プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-169208   出願人：シャープ株式会社