特許

J-GLOBAL ID：201103085550698268

走査型電子顕微鏡を用いた非真空環境内のサンプルの検査のための装置および方法

発明者： モーゼス,エリシャ ,  ジク,オリー ,  ティベルジュ,ステファン
出願人/特許権者： エダ リサーチ アンド ディベロップメント カンパニー,リミティド ,  エル-マル テクノロジーズ リミティド
代理人 (4件)： 青木 篤 ,  石田 敬 ,  古賀 哲次 ,  蛯谷 厚志
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-547196
特許番号：特許第4153303号
出願日： 2001年11月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 -閉鎖された試料設置体積を画定する試料構造; -前記試料設置体積の外側の体積から前記試料設置体積を密封する少なくとも電子ビーム透過性、流体不透過性かつ最高1気圧の圧力勾配に耐えることができる層、および -前記閉鎖された試料設置体積内の1つの場所で電子と試料の相互作用から生成された光を収集するように作動する集光装置、を含む試料エンクロージャアセンブリ。

IPC (6件)：

H01J 37/28 ( 200 6.01) ,  G01N 1/28 ( 200 6.01) ,  G01N 23/225 ( 200 6.01) ,  G01N 23/227 ( 200 6.01) ,  H01J 37/16 ( 200 6.01) ,  H01J 37/20 ( 200 6.01)

FI (6件)：

H01J 37/28 B ,  G01N 1/28 F ,  G01N 23/225 ,  G01N 23/227 ,  H01J 37/16 ,  H01J 37/20 Z

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 電子顕微鏡等の試料ホルダ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-005828   出願人：株式会社蛋白工学研究所, 日本電子株式会社
• 特開昭47-024961
  

引用文献：

審査官引用 (1件)

• ATOMOSPHERIC SCANNING ELECTRON MICROSCOPY