特許
J-GLOBAL ID：201103086675221249
基板乾燥装置及び基板乾燥方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
影井 俊次
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-102158
公開番号（公開出願番号）：特開2001-284777
特許番号：特許第4352194号
出願日： 2000年04月04日
公開日（公表日）： 2001年10月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】薄板基板を、基板搬送手段により水平方向または搬送方向と直交する方向に所定角度傾斜した状態で搬送する間に、エアナイフノズルから噴射するエアの作用で乾燥させる基板乾燥装置において、
前記エアナイフノズルは、少なくとも基板搬送方向と直交する方向の全長にわたってエアを噴射するスリット状のエア噴射口を有し、薄板基板の搬送方向に対向する方向に所定の入射角で乾燥のためのエアを吹き付けるものであり、
このエアナイフノズルにより前記薄板基板にエアが突入することによりミストが発生して既に乾燥した領域に回り込むのを防止するために、前記薄板基板の搬送方向に対向する方向に斜め上方からこの基板搬送方向と直交する方向の全長に水を噴射させることによって、噴射水カーテンを形成するアクアナイフノズルを設け、
前記アクアナイフノズルからの噴射水カーテンは、前記薄板基板のうち、前記エアナイフノズルからのエアによる乾燥進行領域内であって、加圧エアの突入により前記薄板基板の表面から液の除去が進行している領域から未乾燥領域への移行部に噴射する
構成としたことを特徴とする基板乾燥装置。
IPC (6件)：
H05K 3/26 ( 200 6.01)
, B08B 3/02 ( 200 6.01)
, F26B 5/00 ( 200 6.01)
, G02F 1/13 ( 200 6.01)
, H01L 21/304 ( 200 6.01)
, H01L 21/306 ( 200 6.01)
H05K 3/26 C
, B08B 3/02 C
, F26B 5/00
, G02F 1/13 101
, H01L 21/304 651 G
, H01L 21/304 651 L
, H01L 21/306 R
