フローセンサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山川政樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-095481
公開番号（公開出願番号）：特開2002-296086
特許番号：特許第3740026号
出願日： 2001年03月29日
公開日（公表日）： 2002年10月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】流体の温度を検出する温度検出手段が設けられた流量検出素子と、この流量検出素子が装着される金属製の台座とを備えたフローセンサにおいて、前記台座と前記流量検出素子との間に、熱膨張係数が前記台座より小さいガラス、セラミックス、合成樹脂等の材料からなる流路形成部材を介在させてなり、この流路形成部材はダイカットによって形成されており、上面に前記温度検出素子が設置される凸部と、流体の流れ方向に沿った流路用溝が設けられていることを特徴とするフローセンサ。

IPC (1件)：