特許
J-GLOBAL ID：201103086956270834
結晶製造装置及び結晶製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 渡邊 隆
, 青山 正和
, 鈴木 三義
, 西 和哉
, 村山 靖彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-360060
公開番号（公開出願番号）：特開2003-165716
特許番号：特許第3846285号
出願日： 2001年11月26日
公開日（公表日）： 2003年06月10日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 チャンバー内の断熱材によって囲まれる空間内に鋳型が設置され、該鋳型の下部には冷却板が設けられ、前記鋳型内に収容した融液に該鋳型の内側底面から上方に正の温度勾配を付与して、前記鋳型の内側底面から上方に前記融液を結晶化する結晶製造装置において、
前記断熱材によって囲まれる空間内の雰囲気を取り出して冷却して前記冷却板に向けて供給する冷却装置と、
前記融液の温度を直接または間接的に検出する温度測定装置と、
該温度測定装置の測定値に基づいて前記冷却装置の動作を制御する制御装置とを有し、
前記制御装置は、前記融液が結晶化してなるインゴットの温度が冷却の際に生じる熱応力による割れが生じない温度以下まで低下したことを条件として、前記冷却装置を作動させることを特徴とする結晶製造装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
審査官引用 (1件)
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結晶シリコン製造装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2000-333706
出願人：三菱マテリアル株式会社, 玉川マシナリー株式会社
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