特許
J-GLOBAL ID:201103087063199283
光フィルター、光フィルター装置、分析機器、および光フィルターの製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
西 和哉
, 志賀 正武
, 大浪 一徳
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-085353
公開番号(公開出願番号):特開2011-008225
出願日: 2010年04月01日
公開日(公表日): 2011年01月13日
要約:
【課題】ミラーが帯電することを防止してミラー同士の貼り付きをなくすことのできる光フィルター、光フィルター装置、分析機器、および光フィルターの製造方法を提供する。【解決手段】本発明の光フィルター1は、互いに対向配置された第1基板2および第2基板3と、第1基板2の第2基板3側に設けられた第1ミラー4Aおよび第1電極6Aと、第2基板3の第1基板2側に設けられた第2ミラー4Bおよび第2電極6Bと、を備え、第1ミラー4Aと第2ミラー4Bとが配線10A,10Bを介して接続されている。【選択図】図1
請求項(抜粋):
互いに対向配置された第1基板および第2基板と、
前記第1基板の前記第2基板側に設けられた第1ミラーおよび第1電極と、
前記第2基板の前記第1基板側に設けられた第2ミラーおよび第2電極と、を備え、
前記第1ミラーと前記第2ミラーとが配線を介して接続されていることを特徴とする光フィルター。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (15件):
2H141MA22
, 2H141MA23
, 2H141MB28
, 2H141MC06
, 2H141MD02
, 2H141MD04
, 2H141MD38
, 2H141MF06
, 2H141MF07
, 2H141MG10
, 2H141MZ18
, 2H141MZ28
, 2K009BB02
, 2K009CC01
, 2K009EE03
引用特許: