特許

J-GLOBAL ID：201103087125410601

金属パターン付き基板の製造方法、金属パターン付き基板、液晶表示装置用金属パターン付き基板の製造方法、液晶表示装置用金属パターン付き基板および液晶表示装置

発明者： 赤松 哉志 ,  瀧澤 圭二
出願人/特許権者： 住友化学株式会社 ,  セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 深井 敏和
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-223847
公開番号（公開出願番号）：特開2003-034884
特許番号：特許第4206209号
出願日： 2001年07月25日
公開日（公表日）： 2003年02月07日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 基板上に形成された金属膜上に感光性樹脂膜を形成し、 この感光性樹脂膜を露光し、現像して複数の基板形成部位の間隙にある金属膜を露出させる感光性樹脂パターンを形成し、 この感光性樹脂パターンから露出した前記金属膜を腐食処理して除去し、各基板形成部位上に金属パターンを形成した後、 前記各基板形成部位において、前記感光性樹脂パターンを前記金属パターン上に保護膜として残したまま各基板形成部位をカットして複数枚の金属パターン付き基板を得ることを特徴とする金属パターン付き基板の製造方法。

IPC (8件)：

C23F 1/00 ( 200 6.01) ,  G02B 5/20 ( 200 6.01) ,  G02F 1/1333 ( 200 6.01) ,  G02F 1/1335 ( 200 6.01) ,  G03F 7/11 ( 200 6.01) ,  G03F 7/40 ( 200 6.01) ,  G09F 9/30 ( 200 6.01) ,  G09F 9/35 ( 200 6.01)

FI (8件)：

C23F 1/00 A ,  G02B 5/20 101 ,  G02F 1/133 505 ,  G02F 1/133 520 ,  G03F 7/11 503 ,  G03F 7/40 521 ,  G09F 9/30 349 D ,  G09F 9/35

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 液晶表示装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-167994   出願人：三菱電機株式会社