特許
J-GLOBAL ID：201103087191706384
弾性表面波素子及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
野河 信太郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-295470
公開番号（公開出願番号）：特開2001-119259
特許番号：特許第3338010号
出願日： 1999年10月18日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 少なくとも表面が圧電機能を有する基板上に電極を備えた弾性表面波素子であって、電極が、固溶解度以上のCuを含むAlからなる第1膜を有し、該第1膜上に固溶解度以上のMgを含むAlからなる第2膜と固溶解度以上のCuを含むAlからなる第3膜とからなる単位をこの順で1単位以上有し、第1膜と第3膜が第2膜から拡散したMgを含むことを特徴とする弾性表面波素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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