特許
J-GLOBAL ID：200903099490148240

弾性表面波素子及びその製造方法

発明者：
西原 時弘

西原 時弘 について

, 
佐藤 良夫

佐藤 良夫 について


出願人/特許権者：
富士通株式会社

富士通株式会社 について


代理人 (1件)： 野河 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-290022
公開番号（公開出願番号）：特開平10-135767
出願日： 1996年10月31日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：
【要約】【課題】 弾性表面波素子の耐電力性を向上させることを課題とする。【解決手段】 基板上に、(1)3〜10重量%のMgが添加されたAl電極又は(2)3〜10重量%のMgが添加されたAlからなる第1膜と、x重量%(0<x≦5)の他の元素が添加されたAlからなる第2膜とを積層することにより形成された電極を有する弾性表面波素子により上記課題を解決する。
請求項（抜粋）：
基板上に、3〜10重量%のMgが添加されたAl電極を有することを特徴とする弾性表面波素子。
IPC (3件)：
H03H 9/145 ,  H01L 21/60 301 ,  H03H 3/08
FI (4件)：
H03H 9/145 Z ,  H03H 9/145 C ,  H01L 21/60 301 P ,  H03H 3/08
引用特許：
審査官引用 (7件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM