特許
J-GLOBAL ID：201103087991420225
情報記録媒体用ガラス基板の洗浄方法及び情報記録媒体用ガラス基板の作製方法並びに情報記録媒体の作製方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
恩田 博宣
, 恩田 誠
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-335197
公開番号（公開出願番号）：特開2003-137608
特許番号：特許第3950319号
出願日： 2001年10月31日
公開日（公表日）： 2003年05月14日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 加熱した化学強化処理液に浸漬して化学強化処理を施した後の円盤状をなすガラス基板に対し、当該ガラス基板の表面に付着した付着物を洗浄して除去するための洗浄処理を施す情報記録媒体用ガラス基板の洗浄方法であって、
開口部を有し、内部には前記ガラス基板の表面に対する付着物の親和力を低減させる洗浄液が貯留され、同洗浄液にガラス基板を浸漬させた状態でその内部に収容するための洗浄槽と、当該洗浄槽内に配設され、洗浄槽内にガスを放出して貯留された洗浄液中に泡を発生させるためのガス供給孔とを備える洗浄装置を使用し、
前記洗浄液にガラス基板が浸漬された状態で洗浄液中に泡を発生させ、同泡が洗浄液中を移動して当該洗浄液を攪拌しながらガラス基板の表面に接触して付着物を除去するように洗浄処理を施すことを特徴とする情報記録媒体用ガラス基板の洗浄方法。
IPC (2件)：
C03C 23/00 ( 200 6.01)
, G11B 5/84 ( 200 6.01)
C03C 23/00 A
, G11B 5/84 Z
