特許
J-GLOBAL ID：201103088202822671
SAW共振片及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梅田 明彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-259883
公開番号（公開出願番号）：特開2002-076820
特許番号：特許第3467694号
出願日： 2000年08月29日
公開日（公表日）： 2002年03月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 圧電体基板の表面に導電性金属材料を所定の厚さに形成することにより、1対又は複数対の交差指電極からなる少なくとも1組のIDTと前記IDTを挟んでその両側にそれぞれ所定の本数の反射体を有する各1個の反射器とを形成する過程と、前記IDTの前記各対の少なくとも一方の前記交差指電極を通電して陽極酸化処理することにより、その表面に酸化膜を形成する過程と、前記反射体を通電して陽極酸化処理することにより、その表面に酸化膜を形成する過程とを含むSAW共振片の製造方法であって、前記反射体の前記所定の本数が、前記反射体及び前記交差指電極を前記酸化膜無しに前記所定の厚さの前記導電性金属材料から形成した場合に、前記SAW共振片に要求される反射率に関して必要な本数よりも少なく、かつ、前記酸化膜が、前記SAW共振片に要求される前記反射率に対応した膜厚に形成されることを特徴とするSAW共振片の製造方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H03H 9/145 C
, H03H 9/145 D
, H03H 3/08
