特許
J-GLOBAL ID：201103088698657187
マスフローコントローラ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤本 英夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-229872
公開番号（公開出願番号）：特開2002-041149
特許番号：特許第3637270号
出願日： 2000年07月28日
公開日（公表日）： 2002年02月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 流体が流れる流路に設けられた制御バルブと、前記流路に設けられた流量センサと、流量センサによる測定値が流量設定信号による設定値になるように前記制御バルブを開閉制御するための制御信号を出力するPID回路とを有するマスフローコントローラにおいて、応答改善回路を設け、前記流量設定信号が入力された時点から流量センサによる測定値が所定の閾値になるまでの間、前記PID回路に対して補正信号を出力することにより、流量設定信号が入力されてから制御バルブが開き出すまでの遅れ時間を低減できるようにし、かつ、応答改善回路に、前記閾値を調節するための閾値調節回路が設けられており、この閾値調節回路に流量設定信号が入力されるようにしてあることを特徴とするマスフローコントローラ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
出願人引用 (2件)
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流量制御方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-339737
出願人：日立金属株式会社
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特開昭62-014201
審査官引用 (3件)
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流量制御方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-339737
出願人：日立金属株式会社
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特開昭62-014201
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特開昭62-014201
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