特許

J-GLOBAL ID：201103089473447015

欠陥検出方法および装置

発明者： 深澤 和彦
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (6件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  渡邊 隆 ,  青山 正和 ,  西 和哉 ,  村山 靖彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-215985
公開番号（公開出願番号）：特開2001-041720
特許番号：特許第4470239号
出願日： 1999年07月29日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 基板上に一定のピッチで形成されたパターンの欠陥を検出する方法であって、 前記基板上に照明光を入射させる工程と、 前記照明光による前記基板からの回折光を受光する工程と、 前記ピッチをP、 前記照明光の波長をλ、 前記照明光の入射角をθi、 前記回折光の回折角をθd、 前記回折光の回折次数をmとした場合に、 以下の関係式; P×(sinθd-sinθi)=mλ を満すようにθi、θd、mまたはλの少なくとも2以上のパラメータを変えてそれぞれ撮像手段で受光した前記回折光によるパターン像による複数の画像信号を比較した結果に基づいて前記欠陥を検出する工程とを備えていることを特徴とする欠陥検出方法。

IPC (2件)：

G01B 11/24 ( 200 6.01) ,  G01B 11/30 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G01B 11/24 D ,  G01B 11/30 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 検査装置及び方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-347362   出願人：株式会社ニコン
• 基板欠陥検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-175302   出願人：株式会社ニコン