リニアイメージセンサIC

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：林敬之助
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-086586
公開番号（公開出願番号）：特開2000-277719
特許番号：特許第3103977号
出願日： 1999年03月29日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
請求項（抜粋）：

【請求項1】複数個のフォトトランジスター、または、フォトダイオードの画素アレイとCMOS素子を同一基板上にもつイメージセンサICにおいて、窒化シリコンのパッシベーション膜と、前記パッシベーション膜上に、センシングする光の波長の1/4波長の光学的膜厚としたシリコン酸化膜を形成した構造を特徴とするリニアイメージセンサIC。

IPC (3件)：