特許
J-GLOBAL ID：201103092423991254
加工装置のバキューム生成機構
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小野 尚純
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-344154
公開番号（公開出願番号）：特開2002-144181
特許番号：特許第4608074号
出願日： 2000年11月10日
公開日（公表日）： 2002年05月21日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 被加工物を保持するチャックテーブルに吸引力を作用せしめる加工装置のバキューム生成機構において、
吸引口と排出口と水供給口とを有する水封式バキュームポンプと、
該吸引口と該チャックテーブルとを連通し該チャックテーブルを通じて空気および該被加工物に供給された加工水の一部を吸引する吸引経路と、
該排出口と連通し該排出口から排出される封水と加工水を貯留する排水タンクと、
該排水タンクと該水供給口と連通し該排水タンクに貯留された封水と加工水とが混合された混合水を該水封式バキュームポンプに封水として循環せしめる循環経路と、
該循環経路に配設された循環水送給ポンプと、
該循環経路に配設され該水封式バキュームポンプに循環する該混合水を冷却する熱交換器と、
該水供給口と連通し冷水を該水封式バキュームポンプに封水として供給する給水経路と、
該給水経路に配設された開閉弁と、を具備しており、
該水封式バキュームポンプの起動時には、該開閉弁を開路させるとともに該水封式バキュームポンプを作動させ該給水経路から冷水を供給し、
該給水経路から所定量の冷水が封水として供給されたならば該開閉弁が閉路せしめられるとともに該循環水送給ポンプが作動せしめられ、該排水タンク内の該混合水が該循環経路および該熱交換器を通して該水封式バキュームポンプの該水供給口に封水として供給されることを特徴とする加工装置のバキューム生成機構。
IPC (5件)：
B23Q 3/08 ( 200 6.01)
, B24B 41/06 ( 200 6.01)
, B23Q 11/00 ( 200 6.01)
, H01L 21/304 ( 200 6.01)
, H01L 21/301 ( 200 6.01)
B23Q 3/08 A
, B24B 41/06 L
, B23Q 11/00 L
, H01L 21/304 622 H
, H01L 21/78 M
