特許
J-GLOBAL ID：201103093060981347
検査装置および検査用レンズ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
深見 久郎
, 森田 俊雄
, 森下 八郎
, 武藤 正
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-056829
公開番号（公開出願番号）：特開2001-324451
特許番号：特許第3720269号
出願日： 2001年03月01日
公開日（公表日）： 2001年11月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 正面と、前記正面に交差する方向の側面とを有する検査対象物の表面を検査する検査装置であって、 前記検査対象物の前記正面が予め定められた方向を向くように前記検査対象物が載置される載置台と、 前記載置台に載置された前記検査対象物の前記側面を照明する照明装置と、 前記載置台の位置と予め定められた関係にある位置に設置され、前記照明装置の照明により照明された前記側面からの反射光を屈折させることにより、前記側面からの反射光の光路を所定の方向へ変更するための光路変更手段と、 前記光路変更手段から出力された前記側面からの反射光を撮像するための撮像手段と、 前記撮像手段に接続され、前記撮像手段により撮像された前記側面からの反射光の映像信号を画像処理するための画像処理手段とを含み、 前記光路変更手段は、底面と、前記底面の面積よりも小さな面積を有する上面と、前記底面の周縁と前記上面の周縁とを結ぶ斜面とを有する中実透明なレンズであって、前記上面を前記載置台に対向するように設置される、検査装置。
IPC (5件)：
G01N 21/88
, G02B 5/04
, G02B 17/04
, G03B 15/00
, H04N 7/18
G01N 21/88 Z
, G02B 5/04 F
, G02B 17/04
, G03B 15/00 T
, H04N 7/18 B
