特許
J-GLOBAL ID:201103093455430129

乾性ガスを製造する方法並びに装置、及び乾燥させる方法並びに装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人小田島特許事務所
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-167972
公開番号(公開出願番号):特開2001-028360
特許番号:特許第4434435号
出願日: 2000年06月05日
公開日(公表日): 2001年01月30日
請求項(抜粋):
【請求項1】 キャリヤガスと作用物質を混合させる、1つまたは複数の円盤状の対象物を乾燥させるための乾性ガスを製造する方法であって、キャリヤガスは、作用物質の静止している液体水面と接触し、その際に液体の上方にある作用物質のガスで濃縮され、前記キャリヤガスの分圧は、液体の作用物質と接触するときに標準圧力を上回っており、乾性ガスは円盤状の対象物の表面と接触する前に除圧され、乾性ガス中の作用物質の分圧は、飽和蒸気圧の20%よりも小さいことを特徴とする方法。
IPC (2件):
H01L 21/304 ( 200 6.01) ,  F26B 21/14 ( 200 6.01)
FI (2件):
H01L 21/304 651 L ,  F26B 21/14
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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