超臨界流体を利用した洗浄装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：梅田勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-019000
公開番号（公開出願番号）：特開平8-206485
出願日： 1995年02月07日
公開日（公表日）： 1996年08月13日
要約：

【要約】【目的】短時間に被洗浄物質の洗浄を行え、かつ、被洗浄物質の表面に付着したパーティクルまで除去することができる洗浄装置を提供する。【構成】洗浄槽1に循環経路7が接続されている。循環経路7には循環機2が設置されている。循環機2は、被洗浄物質4の洗浄中に、洗浄媒質である超臨界流体を循環させる。

請求項（抜粋）：

洗浄槽内に導入された超臨界流体により、被洗浄物質を洗浄する洗浄装置において、前記洗浄槽と複数の接続口で接続された循環経路と、前記被洗浄物質の洗浄中に、前記洗浄槽内の圧力を略一定に保ちながら、超臨界流体を循環させる手段と、を備えてなることを特徴とする洗浄装置。

IPC (3件)：

B01J 3/06 , G02F 1/13 101 , H01L 21/304 341

引用特許：

審査官引用 (6件)

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