特許
J-GLOBAL ID：201103093515535588
ダイシング装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-231731
公開番号（公開出願番号）：特開2002-050671
特許番号：特許第3979484号
出願日： 2000年07月31日
公開日（公表日）： 2002年02月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ウェーハの表面を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段が撮像した画像を表示する表示手段と、
前記表示手段が表示している任意の位置を表示上の位置で指定して位置情報を入力するポインティングデバイスを用いた入力手段と、
前記撮像手段が撮像した画像に基づいてウェーハ表面に形成されている直線状のストリートパターン形状の基準情報を検出する形状検出手段と、
前記形状検出手段によって検出されたストリートパターン形状の基準情報、及び前記ウェーハ表面に形成されているストリートパターン形状の1乃至複数の基準位置とを記憶する記憶手段と、
前記入力された位置情報を、前記基準情報に基づいて、前記形状検出手段によって検出されたストリートパターン形状のうち入力された位置情報に最も近い位置、又は前記ウェーハ表面に形成されているストリートパターン形状の1乃至複数の基準位置のうち入力された位置情報に最も近い位置に変換する変換手段と、
前記変換された位置に表示位置を移動させる移動手段とを備え、
前記入力手段で指定された位置の最も近傍にあるストリートパターン形状を前記撮像手段で撮像される画像の中心位置へ合わせた後、前記ウェーハ端部を前記撮像手段により撮像される位置まで前記ウェーハを加工時における軸移動方向に移動させ、該移動後の位置において、前記画像の中心位置に合わせられた前記入力手段で指定された位置の最も近傍にあるストリートパターン形状の端部位置を決定し、前記中心位置と前記端部位置より算出した回転角度に基づいて回転移動することにより、前記ウェーハ表面に形成されているストリートパターン形状と加工時における移動方向とを手動操作により平行に調整するマニュアルアライメントを行うことを特徴とするダイシング装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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