特許
J-GLOBAL ID：201103093745761781
半導体エネルギー線検出器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
長谷川 芳樹
, 塩田 辰也
, 寺崎 史朗
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-024434
公開番号（公開出願番号）：特開2002-231925
特許番号：特許第4647801号
出願日： 2001年01月31日
公開日（公表日）： 2002年08月16日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 一方向に沿って連続して延びエネルギー線の入射に感応して電荷を発生するエネルギー線感応領域を垂直電荷転送チャネルとし、前記垂直電荷転送チャネルを介して転送された電荷を水平方向に転送して出力する水平電荷転送チャネルを備える半導体エネルギー線検出器において、
前記エネルギー線感応領域長さ方向の第1位置における幅を規定する2つの幅方向位置のそれぞれが、前記長さ方向の第2位置における幅を規定する2つの幅方向位置それぞれから変位しており、
前記エネルギー線感応領域に対して互いに逆側位置に第1及び第2過剰電荷排出領域が設けられ、
前記第1過剰電荷排出領域は、その前記一方向延長線上に、前記第2位置における前記エネルギー線感応領域が位置するように前記第1位置における前記幅方向位置の一方に隣接しており、
前記第2過剰電荷排出領域は、その前記一方向延長線上に、前記第1位置における前記エネルギー線感応領域が位置するように前記第2位置における前記幅方向位置の一方に隣接し、
前記半導体エネルギー線検出器の撮像領域は前記垂直電荷転送チャネルを複数備え、同一の垂直電荷転送チャネル内に第1画素及び第2画素を備え、測定対象物から出射されるエネルギー線の前記垂直電荷転送チャネル上における速度に同期する速度で、前記第1画素に蓄積された電荷を、第2画素に転送することにより、転送された電荷と転送後に前記第2画素で蓄積される電荷とを加算する、
ことを特徴とする半導体エネルギー線検出器。
IPC (3件)：
H01L 27/148 ( 200 6.01)
, H01L 27/146 ( 200 6.01)
, H04N 5/3725 ( 201 1.01)
H01L 27/14 B
, H01L 27/14 H
, H04N 5/335 725
