特許
J-GLOBAL ID:201103093867108647

マスク支持体、マスクアセンブリ、及びマスク支持体とマスクを含むアセンブリ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 安齋 嘉章
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-504330
公開番号(公開出願番号):特表2011-516736
出願日: 2008年12月01日
公開日(公表日): 2011年05月26日
要約:
マスク支持体10はフレーム要素20と弾性要素30を含んでいる。弾性要素30はフレーム要素20に固定されている。弾性要素30は全体的に可撓性のある材料で形成されている部材である。それは、アーム部37の自由端からおよそ90°の角度で伸びる第1締結突起38を有するレバーあるいはアーム部37を含んでいる。マスクアセンブリ40は薄層マスク41と、例えば薄い金属ホイルで製造されたものと、接続要素42を含んでいる。接続要素42は弾性要素30の締結突起38と締結するための締結部43を含んでいる。マスク41は、マスク支持体10から楽に取り外されるのみならず、マスク支持体10に取り付け/延伸させてもよい。
請求項(抜粋):
マスク(41)を支持し、特にOLEDコーティング装置内で使用される薄層マスク(41)を支持し、フレーム要素(20)と弾性要素(30)を含むマスク支持体(10)であって、 前記弾性要素(30)は前記マスク(41)を前記フレーム要素(20)に取り付け、前記フレーム要素(20)内で支持される前記マスク(41)を延伸させるための手段を含んでおり、 前記弾性要素(30)は、前記フレーム要素(20)に回転可能に取り付けられたレバーあるいはアーム部(37)と、前記弾性要素(30)を前記フレーム要素(20)へ取り付ける取り付け端部(31)と、前記レバー部(37)と前記取り付け端部(31)の間に配置された曲部(32)を含んでいることを特徴とするマスク支持体(10)。
IPC (1件):
C23C 14/04
FI (1件):
C23C14/04 A
Fターム (4件):
4K029BA62 ,  4K029HA01 ,  4K029HA03 ,  4K029HA04
引用特許:
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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