真空蒸着用マスク及びこれを用いて製造された有機ELディスプレイパネル

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：内藤照雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-043229
公開番号（公開出願番号）：特開2004-006257
出願日： 2003年02月20日
公開日（公表日）： 2004年01月08日
要約：

【課題】蒸着用マスクの張力を調整できると共に、蒸着用マスクをマスクフレームから容易に取り外すことができる真空蒸着用マスクを提供する。【解決手段】マスクフレーム11に保持されている真空蒸着用マスク1であって、蒸着用マスク本体10と、蒸着用マスク本体10の少なくとも1辺に接着されたガイド部材12と、マスクフレーム11に保持したときに、ガイド部材12を介して蒸着用マスク本体10に所定の張力を付加する張力付加手段14とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

マスクフレームに保持されている真空蒸着用マスクであって、蒸着用マスク本体と、前記蒸着用マスク本体の少なくとも1辺に取り付けられるガイド部材と、前記ガイド部材が前記マスクフレームに保持されたときに、前記ガイド部材を介して前記蒸着用マスク本体に所定の張力を付加する張力付加手段と、を備えたことを特徴とする真空蒸着用マスク。

IPC (4件)：

H05B33/10 , C23C14/04 , C23C14/24 , H05B33/14

FI (4件)：

H05B33/10 , C23C14/04 A , C23C14/24 G , H05B33/14 A

Fターム (7件)：

3K007AB17 , 3K007AB18 , 3K007DB03 , 3K007FA01 , 4K029BD00 , 4K029HA03 , 4K029HA04

引用特許：

審査官引用 (10件)

薄膜形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-335926 出願人：トヨタ自動車株式会社
真空蒸着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-274738 出願人：日本電気株式会社
クリーム半田用メタルマスクおよび枠への取付方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-199051 出願人：株式会社安川電機, 有限会社森板金製作所, マイシステムズ有限会社

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