特許

J-GLOBAL ID：201103094238379782

X線検査方法及びその装置

発明者： 寺岡 璋
出願人/特許権者： 株式会社テクノエナミ
代理人 (1件)： 井内 龍二
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-082501
公開番号（公開出願番号）：特開2000-275191
特許番号：特許第3643722号
出願日： 1999年03月25日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 X線を用いて試料の断面を撮影して検査するX線検査方法において、 被検対象となる断面を、前記試料を載置する載置台の載置面に対して垂直方向に関する断面とし、 前記載置面を挟んで、X線を照射するX線源とX線を検出するX線検出部とを対向させて配置し、 前記X線検出部のX線入射面と前記断面とを平行にして、 前記X線入射面と前記断面との平行関係を維持させたまま、 前記X線検出部を、前記断面と同一面上にあり、かつ前記載置面に対して垂直な直線を中心軸として、揺動させる一方、前記X線源を、前記断面と同一面上にあり、かつ前記載置面に対して垂直な前記直線を回転軸として、前記X線検出部に同期させて回転させながら、 前記X線源からX線を前記試料に照射し、前記試料を透過したX線を前記X線検出部にて検出することを特徴とするX線検査方法。

IPC (2件)：

G01N 23/04 ,  H05K 3/34

FI (2件)：

G01N 23/04 ,  H05K 3/34 512 A

引用特許：

審査官引用 (3件)

• X線診断装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-277053   出願人：株式会社島津製作所
• 非破壊検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-221084   出願人：株式会社島津製作所
• 特開昭54-152489