有機系被膜の蒸着方法とその装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-042715
公開番号（公開出願番号）：特開2001-226144
特許番号：特許第3415801号
出願日： 2000年02月21日
公開日（公表日）： 2001年08月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】回転駆動する繊維体に液化蒸発材を塗布して含浸させ、第1の加熱手段で繊維体を加熱して溶剤を蒸発させた後、繊維体をチャンバ内に回動し第2の加熱手段で繊維体を加熱することで有機系物質を蒸発させて基体に蒸着して被膜し、その後、繊維体を回動して、再度液化蒸発材を塗布して含浸させることを繰り返し、連続して有機系物質を基体に蒸着することを特徴とする有機系被膜の蒸着方法。

IPC (5件)：