チャンバ型イオン搬送式イオン化装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：木内光春
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-358809
公開番号（公開出願番号）：特開2001-176691
特許番号：特許第4489883号
出願日： 1999年12月17日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
請求項（抜粋）：

【請求項1】チャンバ内に供給されたイオン搬送ガスの一部をイオン化するイオン化部と、帯電体に向かってイオン搬送ガスを供給する吹出部を有するチャンバを備え、前記イオン化部が、前記チャンバに内蔵されたイオン化源と、前記チャンバの外部に設けられ、前記イオン化源によるイオン発生量を制御する制御装置とから構成され、前記チャンバ内のイオン化部の下流側に、前記イオン化源から発生する軟X線、低エネルギー電子線、又は放射性同位元素からのα線又はβ線の放射線を遮蔽するための遮蔽部が形成され、前記遮蔽部は、前記チャンバの下流側側面の一部に複数個の開口を形成してなり、この開口を介して帯電体にイオン搬送ガスが供給されると同時に、前記開口により軟X線、低エネルギー電子線、又は放射性同位元素からのα線又はβ線の放射線を遮蔽するように構成したことを特徴とするチャンバ型イオン搬送式イオン化装置。

IPC (2件)：

H05F 3/06 ( 200 6.01) , B01J 3/00 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H05F 3/06 , B01J 3/00 J

引用特許：

出願人引用 (9件)

軟X線を利用した除電装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-181639 出願人：シシド静電気株式会社, 浜松ホトニクス株式会社
イオンガス発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-319910 出願人：浜松ホトニクス株式会社
イオンガス発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-148010 出願人：浜松ホトニクス株式会社

全件表示

審査官引用 (13件)

軟X線を利用した除電装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-181639 出願人：シシド静電気株式会社, 浜松ホトニクス株式会社
イオンガス発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-319910 出願人：浜松ホトニクス株式会社
イオンガス発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-148010 出願人：浜松ホトニクス株式会社

全件表示

前のページに戻る