特許
J-GLOBAL ID：201103094927615850
切粉に対する表面潤滑性にすぐれた表面被覆超硬合金製切削工具
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
富田 和夫
, 鴨井 久太郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-229302
公開番号（公開出願番号）：特開2001-071203
特許番号：特許第3994592号
出願日： 1999年08月13日
公開日（公表日）： 2001年03月21日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 炭化タングステン基超硬合金基体の表面に、Tiの炭化物層、窒化物層、炭窒化物層、炭酸化物層、および炭窒酸化物層のうちの1種または2種以上からなるTi化合物層の下部層と、酸化アルミニウム層の上部層で構成された硬質被覆層を3〜30μmの平均層厚で化学蒸着してなる表面被覆超硬合金製切削工具において、上記硬質被覆層に加えて、
(a)まず、反応ガス組成を、体積%で、
TiCl4:0.2〜10%、
CO2:0.1〜10%、
Ar:5〜60%、
H2:残り、
とし、かつ、
反応雰囲気温度:800〜1100°C、
反応雰囲気圧力:30〜500torr、
とした条件で、0.1〜3μmの平均層厚を有し、かつ、オージェ分光分析装置で測定して、Tiに対する酸素の割合が原子比で1.60〜1.90、すなわち、
組成式:TiOW、
で表わした場合、
W:Tiに対する原子比で1.60〜1.90、
を満足するTi酸化物層を形成し、
(b)ついで、上記Ti酸化物層の上に、
反応ガス組成を、体積%で、
TiCl4:0.2〜5%、
CH4:0.2〜15%、
N2:2〜50%、
H2:残り、
とし、かつ、
反応雰囲気温度:800〜1100°C、
反応雰囲気圧力:30〜200torr、
とした条件で、0.05〜2μmの平均層厚を有し、かつ、オージェ分光分析装置で測定して、
組成式:TiCxNy、
で表わした場合、Tiに対する原子比で、
x:0.3〜0.7、
y:0.3〜0.7(ただし、x+y=1)、
を満足するTi炭窒化物層を形成し、もって前記Ti炭窒化物層形成時に上記Ti酸化物層の酸素を拡散せしめることにより形成された、
(A)0.1〜3μmの平均層厚を有し、かつ、
組成式:TiOV、
で表わした場合、厚さ方向中央部をオージェ分光分析装置で測定して、
V:Tiに対する原子比で1.35〜1.7、
を満足するTi酸化物層からなる最表面下地層と、
(B)0.05〜2μmの平均層厚を有し、かつ、
組成式:TiCXNY(O)Z、
で表わした場合(ただし、(O)は上記最表面下地層からの拡散酸素を示す)、同じく厚さ方向中央部をオージェ分光分析装置で測定して、いずれもTiに対する原子比で
X:0.25〜0.65、
Y:0.25〜0.65、
Z:0.06〜0.4(ただし、X+Y+Z=1)、
を満足するTi炭窒酸化物層からなる最表面層、
以上(A)および(B)を化学蒸着してなる、切粉に対する表面潤滑性にすぐれた表面被覆超硬合金製切削工具。
IPC (5件)：
B23B 27/14 ( 200 6.01)
, B23P 15/28 ( 200 6.01)
, C23C 14/06 ( 200 6.01)
, C23C 16/30 ( 200 6.01)
, C23C 16/40 ( 200 6.01)
B23B 27/14 A
, B23P 15/28 A
, C23C 14/06 P
, C23C 16/30
, C23C 16/40
