特許

J-GLOBAL ID：201103095185696388

光記録媒体保護層形成用スパッタリングターゲット材

発明者： 三島 昭史 ,  森 理恵
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (2件)： 富田 和夫 ,  鴨井 久太郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-273520
公開番号（公開出願番号）：特開2001-098362
特許番号：特許第3915110号
出願日： 1999年09月28日
公開日（公表日）： 2001年04月10日
請求項（抜粋）：

【請求項1】質量%で、 酸化けい素:3〜25%、 酸化チタン:5〜35%、 硫化亜鉛:残り、 の配合組成を有する混合粉末のホットプレス焼結体で構成したことを特徴とする、光記録媒体保護層形成用スパッタリングターゲット材。

IPC (5件)：

C23C 14/34 ( 200 6.01) ,  C04B 35/453 ( 200 6.01) ,  G11B 7/254 ( 200 6.01) ,  G11B 7/257 ( 200 6.01) ,  G11B 7/26 ( 200 6.01)

FI (7件)：

C23C 14/34 A ,  C23C 14/34 N ,  C04B 35/00 P ,  G11B 7/24 534 K ,  G11B 7/24 534 L ,  G11B 7/24 534 N ,  G11B 7/26 531

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 耐割損性のすぐれた半導体装置の誘電薄膜形成用スパッタリング焼結ターゲット材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-171123   出願人：三菱マテリアル株式会社
• 情報記録媒体、および情報記録再生システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-322655   出願人：株式会社日立製作所, 日立マクセル株式会社